VF-S2230-5DZ-02SMC先導式電磁閥

   動作原理
      旦手輪順時針回轉(zhuǎn)，設定彈簧力使膜片及主閥推下，
      VAC側和SET側接通，SET側的真空度增加（向真空變化）。
      然后，SET側的真空壓力通過氣路進入真空室，作用在膜片上方，
      與設定彈簧的壓縮力相平衡，則SET側的壓力便被設定。
      若SET側的真空度比設定值高（向絕
      對真空變化），設定彈簧力和真空室的SET側壓力失去平衡，膜片被上拉，
      則主閥芯關閉，大氣吸入閥芯開啟，大氣流入SET側，當設定彈簧的壓縮力與SET側
      壓力達到平衡時，SET側真空壓力便被設定。

VF-S2230-5DZ-02SMC先導式電磁閥
      若SET側的真空度比設定值（向大氣壓力變化），
      設定彈簧力和真空室的SET側壓力失去平衡，膜片被推下，則大
      氣吸入閥芯關閉，主閥芯開啟，VAC側和SET側接通，
      SET側的真空度增加，
      設定彈簧的壓縮力與SET側壓力達到平衡時，SET側的真空壓力便被設定。
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